XP-703DIII測漏檢測（半導體用）參數：

型號	XP-703DⅢ
檢測對象氣體	H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3
檢測原理	專線型半導體式
采集方式	自動吸引式
可檢測泄漏量	H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7
可檢測濃度	H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7
反應時間	10秒以內
顯示方式	液晶數字（手動背景燈）
電源（額定）	5號堿性干電池（LR6）  2節
電池使用時間※1	約12小時（5號堿性干電池、25℃時）
保護等級※2	相當于IP22※3
使用壓力范圍	大氣壓（800～1100kpa）
使用溫濕度范圍	0～40℃/85%RH以下（但不能結露）
外形尺寸	W38×H130×D32㎜（突出部分除外）
重量	約190g（包括電池、皮套）